转自：大众新闻-大众日报

“从5N到6N，不是多提纯一次，是一整套全新纯化体系的建立。”

说这话的人叫刘腾，滨化集团特种化学品事业部总经理。他口中的“6N”，是芯片行业的纯度密码——99.9999%。

六个9，意味着每100万个分子里，杂质不能超过1个。

这不是实验室里的炫技，这是28纳米及以下先进制程的生死线。没有这个纯度，制造业的手机芯片、AI算力卡、自动驾驶芯片，都大受影响。

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一把被卡了二十多年的“刻刀”

高纯氟化氢，芯片晶圆制造里的“精密刻刀”。

一粒直径不足头发丝万分之一大小的金属尘埃，就足以让整片晶圆报废。电子级氢氟酸，正是芯片制造中看不见的“纯净屏障”。蚀刻硅片、清洗晶圆表面，它的纯度及稳定性，直接关乎芯片的良率与性能。

6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品，但就是这么关键的材料，中国长期靠进口。西方垄断6N级高纯氟化氢全球约80%的市场份额。目前市场价格已在200万元/吨以上。

这不是商业问题，这是产业链的关键一环被人拿捏。

“卡脖子”三个字，在半导体领域从来不是比喻。

六个9，怎么来的？

7月19日北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行，6N等级（99.9999%）半导体用高纯氟化氢打破垄断，为国内先进制程提供稳定、安全的国产化保障，筑牢我国半导体产业链供应链“安全屏障”！

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很多人以为，纯度提升就是“多过滤几遍”。

刘腾说：“没那么简单。”

氟化氢里的杂质，水、二氧化碳、含氧有机物，这些家伙有个共同特点——互溶。它们和氟化氢混在一起，像奶茶里的珍珠和椰果，你很难把它们分开。

滨化集团的解法，是在精馏段设计多重精馏耦合系统，通过优化塔内件和操作窗口，在特定压力梯度下实现碳氧杂质的深度脱除。

这相当于造了一套“分子级别的分拣机”，能在极端条件下，把混在一起的杂质一个个挑出来。

但这还不够。

分析检测是另一个战场。你纯度做得再高，检测不准等于白做。滨化自主开发了密闭精准取样系统和高灵敏分析方案，把取样过程中的环境本底干扰压到最低。

“确保分析数据真实反映产品质量”——这句话听起来很技术，实际上是在说：我们绝不自己骗自己。

突破，不只是气体，还有液体​

同一天，滨化还有另一张牌亮了出来。

超高纯电子级氢氟酸——这是湿法工艺的核心材料，和高纯氟化氢气体是“兄弟连”。这个项目是山东省重点研发计划（重大科技创新工程），滨化联合天津大学共同完成。

成果评价会上，中国化工学会的专家组给出结论：关键技术及产品指标达到国际先进水平。几个硬核指标：产品指标优于SEMI-G5级（国际半导体设备材料产业协会的最高标准之一）；已顺利导入14纳米先进制程半导体终端客户；首创电子级氟化氢反应-精馏耦合提纯新工艺；开发了全自动浸没式旋转气泡清洗装置……

从气体到液体，从干法到湿法，滨化在氟化氢这条赛道上，把产业链的关键节点串起来了。

为什么是现在？

这不是偶然。

滨化集团已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，拿到了山东省市场监督管理局颁发的气瓶充装许可证，已经开始向国内外重点客户推介产品。

从实验室到生产线，从样品到商品，这一步跨过去，才是真正的突破。

过去，我们太多“卡脖子”技术，卡在“能做出来”和“能批量卖”之间。滨化这次，是真刀真枪地要进入市场。

与此同时，半导体材料的国产化，从来不是某一个企业的孤军奋战——滨化背后，有天津大学的科研支撑，有山东省的重大专项支持，有中国化工学会的权威背书，更有下游晶圆厂愿意给国产材料“试错”的机会。

6N级高纯氟化氢的投产，超高纯电子级氢氟酸的国际先进水平认定，两件事放在一起看，是一个信号：

中国在半导体先进制程关键材料领域，正在从“有没有”走向“好不好”。

那把被国外垄断了二十多年的“芯片刻刀”，中国人终于也能自己磨了。

而且，磨得够锋利。

记者：王凯；通讯员：侯方辉

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